Chùa tọa lạc ở xã Hòa Hải, huyện Hòa Vang, trong khu vực Ngũ Hành Sơn, tỉnh Quảng Nam, cách trung tâm thành phố Đà Nẵng 13km. Chùa ở sườn núi phía Nam (Thủy Sơn), đi lên 156 bậc đá, là ngôi chùa cổ được dựng vào thời Hậu Lê. Có tài liệu cho là Thiền sư Nguyên Thiều đã khai sơn chùa vào hậu bán thế kỷ XVII.
Thiền sư Hưng Viên trụ trì chùa vào cuối thế kỷ XVII. Thời gian này, Thiền sư Thạch Liêm có ghé viếng chùa, cảm tác các bài thơ vịnh núi Tam Thai, đặt tên động Hoa Nghiêm phía sau chùa. Chùa bị hỏng hoàn toàn vào thời Tây Sơn. Dưới đời Vua Minh Mạng, chùa được ngài Quang Chánh cho trùng tu vào năm 1825 do em gái nhà vua tu ở chùa. Chùa còn được trùng tu vào đời Vua Thành Thái và những năm 1995-1996. Nằm trong khu danh thắng Ngũ Hành Sơn, chùa đã đón tiếp nhiều du khách, Phật tử đến tham quan, chiêm bái hàng ngày. Chùa đã được Bộ Văn hóa công nhận là Di tích lịch sử - văn hóa quốc gia.